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全自動晶圓表面缺陷檢查設備 Slip Finder

 

 多元化製程應用(磊晶、氧化、擴散、拋光、SOI等)
 全片或單一區塊表面量測檢驗
 全自動晶圓片表面缺陷檢驗
 光學非接觸式量測
 可圖像顯式量測缺陷處
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