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半導體

 晶圓厚度、翹曲度
 應力量測設備		  半導體及太陽電池專用
 晶片/晶棒研磨
       
   太陽電池片厚度、
 翹曲度量測儀		  乾冰清洗機
       
 晶圓、LCD、光罩型
 熱電偶溫度計		  晶圓表面/邊緣缺陷
 檢查設備