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半导体

 晶圆厚度、翘曲度
 应力量测设备		  半导体及太阳电池专用
 芯片/晶棒研磨
       
   太阳电池片厚度、
 翘曲度量测仪		  乾冰清洗机
       
 晶圆、LCD、光罩型
 热电偶温度计		  晶圆表面/边缘缺陷
 检查设备