全自动12"晶圆量测仪
MX2012-69-RA-1L
♦ 300mm晶圆之厚度、平坦度、翘曲度测量
♦ 可量晶圆之Stress
♦ 适合作CVD、PVD Film Stress分析
♦ 机械手臂传送,Loadport, FOUP
♦ 个人计算机操作,数据处理简便
♦ 高产能可达50wafer/hr
♦ 支持SECS/GEM传输协议
♦ 支持Wafer Studio 3D显示功能
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