非接触式晶圆量测仪
MX203 Series
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♦ 非接触式电容感应量测方式
♦ 最小刻度为0.1μm，重复性误差0.25μm
♦ 测量时间5 sec./wafer
♦ 可测量Thickness, Flatness, Warp, Bow
♦ 支持Wafer Studio 3D显示功能
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