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晶圆表面缺陷检查设备

Magic Mirror

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♦ 适用于抛光、磊晶、扩散、热处理、研磨等制程后之检查

♦ 全自动检查,缺陷分类及计数;影像可看、可印出、 可存盘、可处理

♦ 用户接口Window NT环境SECSⅡ/GEM软件可选用

♦ 晶圆边缘抓取方式

♦ 8"及300mm共享机种

 冲成股份有限公司 / JC's Chunson Limited         

Tel:+886-2-3234-1279 Fax:+886-3234-7056

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