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晶圆表面缺陷检查设备

NGS 3500

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♦ 多组高分辨率CCD摄影机同时撷取芯片边缘影像

♦ 先进图像处理软件可快速显示芯片缺陷发生位置与数量

♦ 高产能全自动机台设计,最快每片12"芯片可于30秒内完成缺陷检查

♦ 缺陷检查重复性极佳,适用范围如: Polish, EPI, Oxide…等

♦ 可检查 Cracks, Chips, Scratches, Pits 及其他等

 

 冲成股份有限公司 / JC's Chunson Limited         

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