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全自动晶圆边缘缺陷检查设备

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♦ 多元化制程应用(磊晶、氧化、扩散、抛光、SOI等)

♦ 全片或单一区块表面量测检验

♦ 全自动晶圆片表面缺陷检验

♦ 光学非接触式量测

♦ 可图像显式量测缺陷处

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