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全自動LED Wafer量測分類儀 SemDex AR13

 

 可量測2"-8"LED Wafer之TTV, LTV, Bow/Warp, Roughness
 最快可達100 wafers/hr
 取樣量測點數為每秒4000點
 可選配SECS/GEM傳輸介面
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