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採用微波電漿技術之乾式蝕刻機

 

 

 適用於太陽能電池片蝕刻及線痕移除
 可增加太陽能電池片效率達0.3%~0.7%
 相同製程參數適用於鑽石線或砂漿線之太陽能晶圓
   
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