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全自動12”超薄晶圓量測儀 MX6012-DRAT-8C

 

 12"晶圓專用,雙機械手臂傳送
 可量厚度、TTV、翹曲度、電阻值、P/N
 可任意設定多進多出分類模式,Throughput可達200wafer/hr以上
 支援SECS/GEM傳輸協定
 支援Wafer Studio 3D顯示功能
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