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200mm多功能非接觸式晶圓厚度&阻值&P/N型態量測儀 MX608

 

 最多兩條直線掃描晶圓,以顯示厚度、總厚度變異量(TTV)、阻值、P/N型態資料
 最多可對晶圓作十字線掃描共57點量測資料
 高產能:一條直線掃描 < 10 sec , 兩條直線掃描 < 20 sec
 阻值範圍0.001 - 200 Ohm-cm,P/N型態檢查範圍: 0.02 – 200 Ohm-cm
 厚度精確度:±0.3 μm,總厚度變異量精確度: ±0.1 μm (1σ)
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