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晶圓表面缺陷檢查設備 Magic Mirror

 

 適用於拋光、磊晶、擴散、熱處理、研磨等製程後之檢查
 全自動檢查,缺陷分類及計數;影像可看、可印出、 可存檔、可處理
 使用者介面Window NT環境SECSⅡ/GEM軟體可選用
 晶圓邊緣抓取方式
 8"及300mm共用機種
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