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硅片表面缺陷检查设备 Magic Mirror

 

 适用于抛光、磊晶、扩散、热处理、研磨等制程后之检查
 全自动检查,缺陷分类及计数;影像可看、可印出、 可存档、可处理
 使用者介面Window NT环境SECSⅡ/GEM软件可选用
 晶圆边缘抓取方式
 8"及300mm共用机种
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