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非接觸在線式太陽電池硅片量測儀 MX152

 

 非接觸式電容感應量測方式
 最小解析度0.1um,重複性誤差0.25um
 可量測厚度、TTV、電阻率、P/N
 可搭配全自動In-Line量測
 產能大於3,600 wafer/hr (依傳送速度而定)
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