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非接觸式太陽能矽晶圓量測儀 MX203-6-41q

 

 

 

 非接觸式電容感應量測方式
 最小解析度為0.1µm,重覆性誤差0.25µm
 可測量厚度、TTV、翹曲度Bow、Warp
 支援WaferStudio 3D顯示功能
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