全自动LED Wafer量测分类仪
SemDex AR13
♦ 可量测2"-8"LED Wafer之TTV, LTV, Bow/Warp, Roughness
♦ 最快可达100 wafers/hr
♦ 取样量测点数为每秒4000点
♦ 可选配SECS/GEM传输接口
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