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Hologenix Magic Mirror™ 採用古老銅鏡「魔鏡」（Makyoh）概念，透過光束反射將晶圓表面瑕疵轉化為清晰影像

適用於拋光（polishing）、氧化、擴散（diffusion）、CVD、CMP、SOI、植入後退火（RTP）等各製程階段的表面缺陷檢測