产品名称：光学式晶圆厚度、翘曲度量测仪

产品型号：SemDex 301

应用范围：多层厚度量测、3D穿孔量测、 切割道量测、粗糙度量测

产品名称：全自动光学式晶圆厚度、翘曲度检量测仪

产品型号：SemDex A31/A32

应用范围：多层厚度量测、3D穿孔量测

产品名称：全自动LED Wafer量测分类仪

产品型号：SemDex AR13

应用范围：翘曲度量测、 多层厚度量测、膜厚量测、表面粗糙度量测